马斯克或采用FEL技术挑战EUV光刻机

BiRun 讯，8 月 10 日，SpaceX 近日宣布将与特斯拉合作，初期投资 168 亿美元，在美国得州与建 Terafab 芯片设施。有博客博主发布消息称，从 Terafab 发布的消息来看，马斯克似乎要采用「自由电子激光器」(Free Electron Laser, FEL) 技术路线，以挑战阿斯麦的 LPP EUV 光源，颠覆传统 EUV 晶片生产技术的垄断。马斯克其后的回应，似乎印证了这种说法，他贴上「FEL FTW」（FEL For The Win）字眼。

从 Terafab 细长的厂房设计和马斯克的回复可以看出，Terafab 很可能会采用 FEL 技术。尽管马斯克要搞 FEL 只是一种猜想，但仍引起业界人士热烈讨论。FEL 具备高功率、高相干、波长可调和，以及更高能效等优势，理论上可以将光刻光源从 13.5nm、推向 6nm 甚至更短波长。不过，庞大的加速器系统、成本及量产稳定性仍是产业化最大挑战。（信报）