国产浸没式DUV光刻机开始小批量生产，今年先造5台

BiRun 讯，《The Information》援引知情人士称，一家未公开名称的上海国资背景公司已开始生产国产浸没式 DUV 光刻机。公司计划今年制造约 5 台，2027 年增至约 20 台。

首批设备将交付中芯国际、华虹半导体和长鑫科技。晶圆厂还要验证设备的精度、稳定性，以及能否接入现有产线，这一过程可能持续数月甚至更久。

这批设备多数部件来自国内，部分关键零件仍依赖日本。性能和制造质量也落后于 ASML。作为对比，ASML 仅 2025 年就交付了约 131 台浸没式 DUV 光刻机。

国产浸没式 DUV 因此只是从原型测试走向小批量生产，距离大规模替代 ASML 仍有明显差距。

（据 The Information 报道）