國產浸沒式DUV光刻機開始小批量生產，今年先造5台

BiRun 訊，《The Information》援引知情人士稱，一家未公開名稱的上海國資背景公司已開始生產國產浸沒式 DUV 光刻機。公司計劃今年製造約 5 台，2027 年增至約 20 台。

首批設備將交付中芯國際、華虹半導體和長鑫科技。晶圓廠還要驗証設備的精度、穩定性，以及能否接入現有產綫，這一過程可能持續數月甚至更久。

這批設備多數部件來自國內，部分關鍵零件仍依賴日本。性能和製造質量也落後於 ASML。作為對比，ASML 僅 2025 年就交付了約 131 台浸沒式 DUV 光刻機。

國產浸沒式 DUV 因此只是從原型測試走向小批量生產，距離大規模替代 ASML 仍有明顯差距。

（據 The Information 報道）