晶昇股份自主研發大尺寸CVD SiC塗層成套設備完成交付

近日，晶昇股份自主研發的大尺寸CVDSiC化學氣相沉積塗層成套設備完成整機出廠檢驗，正式裝車發運交付客戶，標誌着公司在大尺寸碳化硅塗層工藝裝備領域取得重要進展，為半導體熱場關鍵部件的國產化製造提供了有力支撐。