FT：華為開始統籌國產光刻機，宇量昇DUV年底目標12台

BiRun 訊，動察 Beating AI 快訊，華為正在更深地介入國產光刻機供應鏈。英國《金融時報》稱，華為不僅投資相關設備和零部件公司，還在協調供應商、晶圓廠和整機廠商，推動國產 DUV（深紫外光刻機）進入實際產綫。Bernstein 分析師直接把華為形容為中國 DUV 項目的「項目管理者」。

其中進展最快的是上海宇量昇。公司參與開發了國產先進 DUV，目前設備已經在中芯國際等晶圓廠和華為自己的產綫上測試，計劃今年底生產 12 台。現階段主要先做較簡單芯片，最終目標是用於先進 AI 芯片製造。

國產 DUV 目前還沒有完全擺脫海外供應鏈。宇量昇使用的投影鏡頭仍來自德國 Zeiss，而高功率光源也是主要瓶頸。華為已經投資至期光子、科益虹源等公司，分別補國產鏡頭和光源。