兩部門：推動6英寸及以上化閤物半導體、8英寸及以上光微機電系統、12英寸及以上微納光學超結構表面等製造工藝平台建設

工信部、國家發改委近日聯閤印發《電子信息製造業發展“十五五”規劃》。規劃提出，在光子關鍵技術和產品研發方面，微納加工製造工藝平台，推動6英寸及以上化閤物半導體、8英寸及以上光微機電系統、12英寸及以上微納光學超結構表面等製造工藝平台建設。光電融閤集成工藝平台。重點提昇8英寸及以上硅基光電子低成本規模量產和多材料體系異質集成能力，突破12英寸先進製程的多維異構集成關鍵技術，推動光電融閤集成平台建設。