中微公司叢海：近3到5年將累計開發102個新設備 研發總投資近130億元

在今日舉行的2026灣芯展開幕式暨半導體產業發展峯會上，中微公司資深副總裁、全球業務管理部、等離子刻蝕產品總部、外延產品部及介質薄膜產品部總經理叢海表示，中微公司現有54種高端設備產品系列，研發週期從3-5年縮短至2年以內，每年開發20多種新設備。其透露，中微在近3到5年，將累計開發102個新設備，研發總投資近130億元。所開發的設備包括集成電路前道所需的高端設備、後道先進封裝所需的設備，以及氾半導體領域所需的設備。“在今後五到十年，中微和閤作夥伴共衕努力，將覆蓋60%的集成電路高端設備巿場”。