三星半導體覈心刻蝕工藝配方被曝多次流向氾林集團韓國分公司

韓國半導體媒體《THE ELEC》11月9日獨家報道稱，三星電子部分半導體刻蝕工藝配方未經授權，被多次傳至美國半導體設備商氾林集團（Lam Research）的韓國分公司。氾林集團為三星提供刻蝕、沉積設備，雙方原本約定，氾林可為設備性能優化和維護獲取部分生產綫運行數據。但三星調査發現，氾林韓國團隊通過不噹請求，獲取了三星明確禁止對外傳輸的獨立工藝配方文件，相關情況在2026年下半年被三星發現，且涉嫌多次發生。工藝配方包含設備運行所需的溫度、壓力、氣體流量及處理時間等關鍵參數，是芯片製造商長期積累的覈心生產訣竅，直接影響工藝穩定性和良率。報道還提到，氾林韓國分公司11月6日更換代表董事，但尚無証據証明人事調整與此次事件直接相關。三星和氾林韓國均未回應媒體問詢。