國產 DUV 光刻機已啓動量產，長鑫存儲或成首批客戶

深潮 TechFlow 消息，7 月 27 日，據 The Information 援引知情人士消息，上海一家國資背景企業已開始量產自主研發的深紫外光刻機設備，並計劃於 2026 年生產約 5 台、2027 年擴大至約 20 台。消息稱，該批設備擬交付中芯國際、華虹半導體及長鑫存儲等國內芯片製造商，其中長鑫存儲或成為首批客戶之一。 此舉被視為中國半導體製造設備國產化替代取得階段性進展，但整體產能與阿斯麥仍存在明顯差距。